6 厘米 x 22 厘米 RF 离子源

适合于中型和大型预清洁、蚀刻及沉淀的线性射频离子源

Veeco 的 6 x 22 厘米有栅线性 RF 离子源是为具有基底板、大规模基底或大批小规模基底的高效在线系统而设计。其设计具有高可用性、低维护操作特性，因此是使用 100% 的氩气、氧气或其他反应气体的制程的理想之选。

• 为预清洁、蚀刻及离子束辅助沉积 (IBAD) 应用提供恰当的电源密度和均匀度。
• 特别适合于低维护、长期不间断的生产运行
• 在惰性和氧化环境中均能实现可靠一致的操作
• 低功率至中等功率下操作
• 稳定高效的等离子体操作具有精确控制能力并允许高重复性