气体及气相传送系统

气体及气相传送系统

Apex 气体混合系统

Apex 气体混合系统

全方位的精确使用点气体混合解决方案

采用 Veeco 经生产验证的 Piezocon® 气体浓度传感器的 Apex 气体混合系统使制造商通过采购低成本、高浓度的气体并在使用点稀释气体的方式将气体采购成本降低 60%。通过使用 Piezocon 对混合物进行实时测量及控制,生产商可杜绝与恒流混合器相关的材料浪费和持续洗涤问题,在显著的成本节约基础上进一步降低成本。稳定的输出和精确的气体浓度控制使 Apex 得以实现更高的流程工具正常运行时间,而无需每次更换气瓶后重新验证合格性,从而减少在某些情况下可完全避免的因定期更换气瓶所造成的系统停工时间。Apex 可为半导体生产商实现实时控制、高精度、再现性以及更低的拥有成本。

  • 专为需要低浓度、高精度和成本敏感型气体混合物的应用场合而优化
  • 与独立气瓶相比,可重复性可提高 10 倍或更高
  • 消除偏差和重新验证并减少测试时间,提高系统正常运行时间
  • 气体采购成本可立即减少高达 60%
  • 与现有的已安装基地无缝集成,适用于太阳能、半导体等广泛的应用领域
  • 唯一使用 Veeco 的 Piezocon 气体浓度传感器的气体混合系统,可实现 ppm 级别控制

利用 Veeco 的 Apex 气体混合系统,可实现实时控制、高精度、再现性以及更低的拥有成本。

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