适用于镓和铟的向下开口的 SUMO 源

具有大炉料容量、通量稳定性和均匀度


Veeco 的向下开口 MBE SUMO® 源具有大容量、优异的通量均匀性、可忽略的快门瞬时通量和最小耗竭效果。它将双丝源与非对称 SUMO 坩埚(该坩埚具有窄偏置孔口和锥形出口,采用热边加热)相结合。结果:极佳的材料质量,缺陷发生率低,良好的厚度均匀度。注意:此源不适用于铝。

  • 专利设计,已有超过 75 个投入现场应用
  • 向下开口的端口可容纳熔融炉料
  • 卓越的通量稳定性和均匀度
  • PBN 坩埚构造可优化材料质量

Veeco 的向下开口 SUMO 源是一种带有不对称 SUMO 坩埚的双丝源,独特设计用于在向下开口的源端口中容纳熔融炉料。窄孔采用偏置设计以容纳溶胶,而锥形出口锥管则可提供卓越的通量均匀度。这种新颖的坩埚形状只能通过 Veeco 的专利 SUMO 技术提供。

出口锥管的热边加热可防止炉料再凝结和最大程度地减少 Group III 相关的椭圆缺陷。这种基础加热器丝的设计和位置旨在不均匀地分布坩埚中的炉料,从而实现最优的通量稳定性。此源不适用于铝。

性能和优势

向下开口的源端口使用户可以扩展 MBE 系统(带有向下开口的源端口)上的 Group III 源的总量。冗余源可增加最常用材料的总炉料容量,并可通过将单独的源用于每种所需通量,实现不同通量设置间的快速切换。向上开口的浅端口中的向下开口的 SUMO 源还可以提高熔融源材料的炉料容量。例如,GEN III 系统上的向上开口的浅端口中的 175 克向下开口的 SUMO 源可容纳 425 克的镓,而相同端口中的标准 400 克 SUMO 只可容纳 49 克。

出口锥管的设计可确保通量均匀度与通过系统的原始 Group III 源达到的目标相兼容。标准的 1% 均匀度已在 MOD GEN II 系统中的 2” 晶片上得到证实。

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