精密表面处理系统

精密表面处理系统

金属剥脱 - WaferStorm 平台

金属剥脱 - WaferStorm 平台

专有的 ImmJET 晶圆加工技术

这种基于溶剂的系统集成了 Veeco 的 ImmJET 技术,与传统的湿台或单喷雾工具相比,可实现更高的吞吐量和更低的化学成本。浸泡站在低氧环境中工作,从而保持更长浸泡时间。在浸泡槽中浸泡之后,在喷雾室中进行剥脱。

特性

  • 加热的浸泡槽
  • 高压喷雾室
  • 剥脱材料过滤系统
  • 高压流动监控
  • 低化学品消耗

 应用领域

  • MEMS
  • LED/VCSEL
  • 射频器件
  • 电力电子器件
  • 化合物半导体
  • 数据存储
 

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