气体及气相传送系统

气体及气相传送系统

Piezocon 气体浓度传感器

Piezocon 气体浓度传感器

可重现蒸气输送控制的行业标准。

Piezocon® 气体浓度传感器已成为半导体制造行业的行业标准,可用于在 CVD 和 MOCVD 工艺流程中,高精度监控前体化学蒸气和掺杂气体,从而实现可重现的输送控制。

Piezocon 系统已被全世界 5,000 多家厂商安装使用。经生产验证该系统能为您提供:

  • 通过严格控制制程气体和前体化学蒸气的输送,提高工艺的可重现性和良率
  • 通过更高效地利用前体化学品、更充分地利用前体化学源、降低气体流向排气口的时间,从而降低工序成本
  • 通过获取设备和工艺工程师可直接读取的定量信息,设备间的匹配更为简便
  • 通过内置诊断工具,为气体和蒸气输送系统的故障排除提供帮助

精密气体混合系统

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