精密气体混合系统

改进气体混合物浓度，提高生产良率

Veeco 的精密气体混合系统采用改进的浓度控制技术来产生混合气体，流程控制更为严格，产量亦获得提高。对混合气体浓度的动态控制能够调节流入气体浓度所带来的变化或偏移。例如：在浓度为 1% 的掺杂预混合气体中，Piezocon 精密气体混合系统可生成 50ppm 的掺杂混合气体，差异不超过 ± 0.5ppm，甚至更为精确。无论是在储气罐转换过程中，还是单个储气罐的使用期间，均可实现。

• 节约成本：以纯净气体或高浓度混合气体为来源，降低储气罐更换频率，最大限度地缩短停机时间；高投资回报率
• 用途广泛：可处理大多数常用前体或掺杂混合气体
• 便捷：工艺工程师可在多种浓度选项中，设定流程中使用点所需的浓度
• 物流管理更加简单：设备工程师可降低多种浓度混合气体的库存量
• 易于使用：友好的用户界面允许用户自由选择活性气体和稀释气体，并设置使用点所需的浓度
• 小巧紧凑：可安装在带有通风孔的小型外壳或 VMB 上

为符合行业安全协议，标准的 SEMI 合规气箱必须安装 GMS。