金属有机化学气相沉积系统 (MOCVD)

金属有机化学气相沉积系统 (MOCVD)

Propel emPower GaN MOCVD 系统

Propel emPower GaN MOCVD 系统

单晶圆系统可实现节能 GaN 功率和 RF 器件的大批量生产

Veeco 的 emPower 优势

Veeco 的新型 Propel® emPower™ GaN MOCVD 系统专为大批量电力电子行业而设计。emPower 系统采用能够处理 8 英寸和 12 英寸晶圆的单晶圆反应器平台,可存放高质量的 GaN 薄膜,从而生产出高效的电力电子器件。

  • 无与伦比的性能 
  • 卓越的生产力 
  • 同类产品中最佳的灵活性
  • 最低的拥有成本

 

 

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