金属有机化学气相沉积系统 (MOCVD)

金属有机化学气相沉积系统 (MOCVD)

Propel enLight GaN MOCVD 系统

Propel enLight GaN MOCVD 系统

单晶圆系统可实现高级照明设备的大批量生产

Veeco 的新型 Propel® enLight™ GaN MOCVD 系统专为高容量高性能宽带超发光发光二极管行业而设计。enLight 系统采用能够处理 8 英寸和 12 英寸晶圆的单晶圆反应器平台,可存放高质量的 GaN 薄膜,从而生产出高效的电力电子器件。

可集群平台加速了基于 GaN 的高级发光二极管的采用 

  • 无与伦比的性能 
  • 卓越的生产力 
  • 同类产品中最佳的灵活性
  • 最低的拥有成本

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