金属有机化学气相沉积系统 (MOCVD)

金属有机化学气相沉积系统 (MOCVD)

用于 LED 生产的 TurboDisc EPIK 868 MOCVD 系统

用于 LED 生产的 TurboDisc EPIK 868 MOCVD 系统

结合最大程度的资本和占地面积节省与领先的性能

Veeco 全新的 EPIK 868 MOCVD 系统是 LED 行业生产率最高的 MOCVD 系统,与前几代产品相比,可使每晶片的成本降低约 22%。EPIK 868 拥有四反应腔配置并采用突破性技术,包括专有的 IsoFlange™ 以及可在整个承载盘中提供均匀的层流和统一温度曲线的 TruHeat™ 技术。这些技术创新保证了波长的均匀度,从而能够进一步提高良率。EPIK 868 系统的吞吐量是 EPIK 700 系统的 2.3 倍,这是因为其反应腔容量和承载盘更大。专为批量生产而设计的 EPIK 868 可容纳 124x4” 和 48x6” 承载盘。客户可以很轻松地从现有的 TurboDisc 系统切换到新的 EPIK 868 MOCVD 平台,从而快速启动高品质 LED 的生产。

  • 紧凑型集群架构
  • 集成和优化硬件性能
  • 经过验证的过渡和工艺性能

 

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