激光加工系统

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Veeco Ultratech LSA 201 环境控制激光尖峰退火系统

Veeco Ultratech LSA 201 环境控制激光尖峰退火系统

LSA201 环境控制激光尖峰退火系统

Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 (LSA) 系统具有与 LSA101 相同的结构,但是包含专利的微腔设计,可以在扫描激光系统中实现全晶圆环境控制。微腔非常独特,不需要使用真空预备室。该系统能够运行任何惰性气体的混合物,包括合成气体。LSA201 针对的是高 k 金属栅极结激活和硅镍化合物形成等应用。LSA201 非常适合用于小于 20 纳米的工艺,如环境控制至关重要的接口工程和材料修改。

主要特性

  • 长波长、布儒斯特角、p 偏振光以获得最佳晶粒内均匀性
  • 闭环温度反馈控制,以保持严格的温度控制
  • 独立于布局的设计非常适合加工功率器件和 FinFET 器件
  • 局部应力场与灵活的停留时间可实现低应力加工和减少晶圆破损

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