技术与产品

Ultratech - A Division of Veeco

Broad product portfolio includes laser processing equipment for advanced annealing, photolithography steppers for advanced packaging and HBLED lithography, inspection systems for inline wafer monitoring and ALD equipment used in research for a variety of applications. 

金属有机化学气相沉积系统 (MOCVD)

Veeco 提供一系列业界领先的 MOCVD 设备,主要用于在降低拥有成本的同时让产量达到最高。

精密表面处理系统

Veeco 的精密表面处理系统在先进封装、RF、MEMS、平板显示器和化合物半导体行业具有领先优势。

分子束外延 (MBE) 技术

Veeco 可提供业内最广泛且具有创新及可靠性能的分子束外延 (MBE) 系统。

离子束溅镀

Veeco 可为精密光学镀膜和光电设备提供广泛的离子束溅镀技术。

气体及气相传送系统

Veeco 的气体和蒸气输送系统旨在解决半导体生产商及铸造厂面临的关键问题——材料成本、工艺可重复性以及系统正常运行时间。

离子束系统及离子源

Veeco 提供行业领先的离子束蚀刻与沉积技术。

化学气相沉积

通过 Veeco 的化学气相沉积系统,共形金属沉积工艺能够支持下一代 TFMH。

类钻碳

使用 Veeco 的 NEXUS DLC-X 系统,可沉积致密、均匀且可重复的类钻碳 (DLC) 薄膜,以获得耐久的 TFMH 滑片涂层和放置平台。

物理气相沉积

Veeco 物理气相沉积系统为各种薄膜沉积应用场合提供了最大灵活性。

切割和研磨系统

Veeco 的切割和研磨系统可为读写记录磁头、LED、太阳能电池、微电子和光电系统等广泛的应用领域提供高效的切割解决方案。