气体及气相传送系统

气体及气相传送系统

Veeco 的气体和蒸气输送系统旨在解决半导体生产商及铸造厂面临的关键问题——材料成本、工艺可重复性以及系统正常运行时间。

Apex 气体混合系统

利用 Apex 气体混合系统采购低成本、高浓度的气体,降低生产成本。

精密气体混合系统

利用精密气体混合系统提高气体混合浓度。其所产生的混合气体能够加强流程控制并提高良率。

Piezocon 气体浓度传感器

Piezocon® 气体浓度传感器已成为 CVD 和 MOCVD 流程中进行可重复的前体化学蒸气和掺杂气体控制的行业标准,可提高良率。