离子束溅镀

离子束溅镀

Veeco 可为精密光学镀膜和光电设备提供广泛的离子束溅镀技术。

用于光学镀膜的 SPECTOR-HT 离子束溅镀系统

利用获奖的 SPECTOR-HT™ 高级离子束系统生产出质量最佳的光学薄膜,同时提高生产率和生产量。

用于光学镀膜的 SPECTOR Loadlock 离子束溅镀系统

Veeco 的 SPECTOR Loadlock 系统可以使沉积时间少于批量工具通常所需的预处理时间,从而轻松实现生产量的成倍增长。

用于光学镀膜的 SPECTOR 离子束沉积溅镀

使用 Veeco 的 SPECTOR® 离子束溅镀 (IBD) 光学镀膜系统,可实现更高的精度和薄膜工艺灵活性。

用于光学镀膜的 SPECTOR 大范围离子束沉积系统

利用 Veeco 的 SPECTOR® 大范围行星式离子束沉积系统,可将无可比拟的离子束薄膜品质与接近于电子束系统的批次规模完美地结合在一起。