有栅 DC 离子源

有栅 DC 离子源

久经验证的线性有栅 DC 离子源,适用于使用单个大/宽基底或大批量基底且具备高度均匀度、可靠性的离子束沉积工艺平台。

SOLUS DC 离子源控制器

Veeco 的 SOLUS™ DC 离子源控制器拥有最先进的精密控制系统设计,可以为离子源操作提供稳定的功率。

6 厘米 x 30 厘米 DC 离子源

Veeco 的有栅 DC 离子源是适用于大/宽基质或大批量基质的线性源并久经验证,非常适合具有高度均匀度、可靠性的离子束沉积工艺平台。