MBE 组件

MBE 组件

Veeco 严格按照操作标准,并以实现高度可靠、灵活的性能为目标,可提供各种 MBE 组件。

电源解决方案

用于多功能的 MBE 电源 

磷回收系统

使用磷回收系统 (PRS),可在为 MBE 系统通风以进行维护和/或源重新装载之前安全地捕获及中和白磷。

氧压控制系统

Veeco 的氧压控制系统可在 MBE 氧化物应用场合进行安全高效的氧气控制。 它能够精确控制 MBE 生长模块中的氧气量。

气体源交付系统

Veeco 的气体源交付系统 (GSDS) 可确保精确控制气体。它能够互锁和监测惰性气体、有害气体和/或可燃气体,而且可以方便地集成到现有系统。

生长阶段定位器

Veeco GSP 利用光学编码位置反馈,可确保精确、准确的可重复定位。

MBE 加热式视口

Veeco 加热式视口可实现连续、实时的反馈控制,从而防止在 MBE 系统中的光学端口上形成涂层。

MBE 坩埚

Veeco 适用于 MBE 泄流室的全系列 PBN 坩埚(包括专门用于 Veeco SUMO® 室的坩埚)可增加主要源的电荷携带量。

适用于 MBE 系统的生长控制和计划软件

对于寻求全方位工艺控制解决方案的公司来说,Veeco 可通过 Molly 生长控制软件和 Lot Manager 计划软件为研究和生产 MBE 系统提供集成的软件控制解决方案。

磷阀式裂解器温度控制器

借助磷阀式裂解器温度控制器,可确保对因环境不断变化而造成流量不稳定的情况进行精确、稳定的控制。

阀门自动定位器

Veeco SMC-II 的自动阀门定位器可提供精确、可重现的自动流量控制。它可完全自动定位源的针形阀并远程控制阀的位置。

UNI-Bulb RF 等离子源自动调节器

Veeco RF 等离子源自动调节器可自动调整和保持最佳等离子源状态,在实验期间无需手动调整。

UNI-Block MBE 基底承载座

UNI-Block® 无铟基底承载座提供更高的灵活性、颗粒生成更少。它可在同一承载环中快速安装全部或部分基底。

基底加热器

Veeco 基底加热器针对特定温度和生长环境定制,可优化加热灵活性。可使用基底加热器直接替换常用 MBE 系统的组件。

MBE 系统电缆

Veeco 的系统电缆将室与控制器相连,可实现较高的电荷携带量和较高的工作温度,进而可确保可靠的 MBE 泄流室运行。

CBr4 气体流量控制系统

在高性能的气体 UHV 交付中,Veeco 气体裂解器可优化流量均匀度,并控制 CBr4 气体向 UHV 环境的引入。