MBE 系统

MBE 系统

Veeco 可提供业内最广泛且具有创新及可靠性能的分子束外延 (MBE) 系统。

GEN20 MBE 系统

利用 Veeco 的 GEN20™ MBE 系统获得超灵活的工具。它可针对 III-V 和新型材料进行配置(包括需要电子束技术的应用)。

GEN200 MBE 系统

作为如今市场中最经济高效且产量最高的 multi-4" 生产 MBE 系统,Veeco 的 GEN200® MBE 系统能够提供卓越的生产能力和出色的晶片质量。

GEN2000 MBE 系统

利用 GEN2000® MBE 系统提供卓越的生产量、更长的运行时间、更少的空间占用和组合设备工具晶片处理能力。

GEN930 研发 MBE 系统

GEN930® MBE 系统是开发氮化物和氧化物应用中带直接泵联轴器的 III-V 族或 II-VI 族化合物材料的理想选择。

GENxcel R&D MBE 系统

屡获殊荣的全新 GENxcel 系统扩展了 GENxplor™,这是自 2013 年 8 月推出以来最畅销的 MBE 系统,与 GENxplor 系统上的 3” 能力相比,在单个 4” 基板上具有高品质的外延生长。

GENxplor R&D MBE 系统

Veeco 的获奖 GENxplor™ R&D MBE 系统采用久经验证的 Veeco GEN10™ MBE 生长室设计,具有无与伦比的工艺灵活性。

GEN10 MBE 系统

作为久经验证的平台上最经济、最灵活的组合设备工具系统,GEN10™ MBE 可提供最多三个可配置的用于特定材料的生长模块。