低温

低温

Veeco 的低温外延源可以为各种应用场合提供精确而一致的低温外延源性能。

抗腐蚀系列阀式裂解器

抗腐蚀系列阀式裂解器具有卓越的流量控制效果,可以实现采用传统控制源无法得到的复杂结构。

磷阀式裂解器

最佳投资回报的磷解决方案。

硒阀式裂解器

硒阀式裂解器有多个加热区,可在阻止腐蚀性蒸气的化学侵蚀的同时,产生裂解或未裂解的硒流量。

砷阀式裂解器

工业标准砷源

可伸缩源

Veeco 的可伸缩源能满足 MBE 的基本限制,包括实现维护和系统正常运行时间的源容量、源去除。

单丝源

作为经济高效的解决方案,单丝源是高蒸气压材料的理想选择。

双丝源

双丝源采用两种独立的灯丝(主丝和端头丝)来加热坩埚,可增强加热控制。

硫阀式裂解器

硫阀式裂解器可提供有效的材料保护和接近瞬时的流量调节,同时可抵抗腐蚀性蒸气的化学侵蚀。

SUMO 源

SUMO 源具有临界温度稳定性,是用于高蒸气压材料无阀蒸发的最佳源。

抗氨化源

通过 Veeco 抗氧化长寿命源,可延长正常运行时间和降低维修成本。

抗氨化源

通过 Veeco 抗氨化长寿命源,可延长正常运行时间和降低维修成本。