金属有机化学气相沉积系统 (MOCVD)

金属有机化学气相沉积系统 (MOCVD)

Veeco 提供一系列业界领先的 MOCVD 设备,主要用于在降低拥有成本的同时让产量达到最高。

用于 LED 生产的 TurboDisc EPIK 700 GaN MOCVD 系统

Veeco 获奖的 EPIK® 700 MOCVD 系统是 LED 行业生产率最高的 MOCVD 系统,可使每晶片的成本降低高达 20%。

TurboDisc K475i As/P MOCVD 系统

TurboDisc K475i As/P MOCVD 系统是业界生产率最高、拥有成本最低的 MOCVD 系统,专为大批量生产 LED 精心设计

适用于功率器件的 Propel Power GaN MOCVD 系统

Veeco 的新 Propel™ Power GaN MOCVD 系统采用单晶片反应器技术,能够生产 GaN 基高效功率器件。