通过 Veeco 抗氨化长寿命源，可延长正常运行时间和降低维修成本。适用于温度高达 120°C、氨气分压高达 1x10-4 托的环境。基质加热器还可用于温度达 1200°C、氧气分压达 1x10-4 托的环境。

• 延长了氨环境下的寿命
• SUMO 坩埚可用于实现最佳流量分配和最小耗竭效果
• 氨分压最高可达 1x10-4 托
• 温度最高可达 1200°C
• 已有超过 20 个投入现场应用

使用氨 (NH3) 作为氮源变得越来越普遍，因为这样能够实现高生长速率且易于控制。但是，氨会大幅缩短设备寿命。由于氢脆，源和加热器灯丝只能使用几个月。因此，设备的正常运行时间就会缩短，从而导致炉龄期缩短、维修成本增加。