此源有多个加热区，可在阻止腐蚀性气体的化学侵蚀的同时，生成裂解或未裂解硒流量。通过全金属针形阀，无需耗尽源材料，即可获得无可比拟的便利和通量控制。已报告了可生产蓝/绿 LED 和激光二极管设备的良好结果。

• 专利设计，已有超过 50 个投入现场应用
• 提供流量调节和开/关控制
• 大源容量
• 使用喷嘴获得极佳的流量均匀度并减少材料浪费
• 避免系统烘干过程中源材料的损失
• 受到世界领先的 II-VI 研究组的广泛使用，已有超过 50 个投入现场应用

Veeco 的硒阀式裂解器由世界领先的 II-VI 研究小组使用。可对其多个加热区进行操作，以产生裂解或未裂解的硒通量。全金属针阀可调节通过导管从坩埚流向生长模块的气流。导管由钽制成，可抵抗硒蒸汽的化学侵蚀。

利用新增加的增强功能，Mark V 硒阀式裂解器加入了一个喷嘴，该喷嘴可提供卓越的通量均匀度和减少材料浪费。这种在材料利用方面的改进有助于：

• 节省材料成本
• 延长炉龄期
• 减少有害废物生成
• 降低记忆效应
• 降低微粒水平和减少剥落
• 减少系统窗口涂层

Veeco 的硒阀式裂解器提供 500cc 和 1200cc 两种尺寸，可与各种 MBE 系统兼容。喷嘴专为特定的 MBE 系统定制设计，以在晶片或滚筒上实现卓越的通量均匀度。Veeco SMC-II 自动阀门定位器适用于该源，以实现针阀的可靠、自动化控制。

性能和优势

Veeco 的硒阀式裂解器可提前其他任何标准源都无可匹敌的便利性和通量控制。使用针阀实现接近瞬时的通量调节和完整的通量关断，以优化生长流程的控制。源可以在操作温度下持续闲置，而无不会耗尽炉料。利用机械通量控制（而不是用于传统开放式源的热控制），炉料容量可在不限制源的响应能力的情况下被任意放大。

优势包括：

• 更长的生长炉龄期
• 烘干和闲置期的炉料保存
• 更彻底的炉料除气
• 减少系统中的意外 Group VI 背景

基于 ZnMgSSe/ZnSSe/ZnCdSe 的蓝色/绿色发光二极管和激光二极管的成功生长，展示了卓越的通量稳定性和响应性。