磷的专利阀式裂解器采用独特的定制设计，可通过固体磷炉料提供受控且可再生的 P2 通量。多区坩埚拥有有利的蒸发特性，专门设计用于商用红磷至活性更强的白磷的原位转换。

• 专利设计，已有超过 175 个投入现场应用
• 兼容高温除气
• 磷化氢 (PH3) 的公认高效的固体源替代方案
• 真空密封坩埚，可优化材料质量

Veeco 的独特热控制系统拥有针对红磷和白磷区的独立加热器，且在白磷存储器上设有一个气冷套。两个加热器均可以用于彻底的源除气。加载后，将红磷区加热至蒸发温度，同时冷却白磷存储器以促进 P4 蒸汽的凝结，从而实现有效的炉料转换。在生长过程中，只需使用单个批量加热器即可实现可调温度梯度。凭借红磷区的加热器，坩埚可以被加热至 190°C 的红磷温度（足够低到避免红磷在操作过程中蒸发）和 75-100°C 的白磷温度。空气冷却可将白色区域的温度降至所需的操作水平。该系统可提供卓越的热稳定性（即使在白色区域的温度低至 65°C 时）。

为实现快速和可靠的通量控制，利用全金属针阀从坩埚至裂解区计量气体通量。P4 至 P2 的高效转换发生在高电导裂解区。Veeco 磷阀式裂解器温度控制器适用于该源，以及 Veeco SMC-II 自动阀门定位器，以实现针阀的可靠、自动化控制。

性能和优势

磷的阀式裂解器是经过验证的将磷用于 MBE 生长的高效安全的替代方案。阀式源为高要求的四元 GaInAsP 材料提供了所需的精准 Group V 通量控制，为砷化物/磷化物异质结构（带有层间最小混合 (1%)）的生长提供了有效的关断功能。

源的阀机制使得它可以快速地、可再现地建立需要束等效压力 (BEP) 以优化生长参数的任何对象。关闭阀可防止烘干过程中源材料的损耗来自世界范围内使用该源的实验室的结果展示卓越的材质和先进的电子及光电设备。

展示的结果包括：

• GaInP/AlGaInP 材料系统中的 630-670 纳米红色激光二极管拥有高输出功率和良好的设备寿命
• AlGaInP 系统中的 660 纳米共振腔发光二极管展现了高效率和较长的寿命。1300nm 的 RCLED 展现了卓越的光谱纯度