使用 Veeco 适用于中温环境的长寿命抗氨化分子束外延 (MBE) 源，可以最大程度地提高基于氨 (NH3) 的外延的生产力和性能。它们延长了运行时间，最大程度地降低了维修成本，实现极高生长效率。这些源在温度高达 1350°C、氨分压高达 1x10-4 托的情况下仍可很好地工作。基底加热器和 SUMO 坩埚可以进一步提高性能。

• 延长了氨环境下的寿命
• SUMO 坩埚可用于实现最佳流量分配和最小耗竭效果
• 氨分压最高可达 1x10-4 托
• 温度最高可达 1200°C
• 已有超过 20 个投入现场应用

使用氨 (NH3) 作为氮源变得越来越普遍，因为这样能够实现高生长速率且易于控制。但是，氨会大幅缩短设备寿命。由于氢脆，源和加热器灯丝只能使用几个月。因此，设备的正常运行时间就会缩短，从而导致炉龄期缩短、维修成本增加。

利用特殊耐氨材料，Veeco 使其创新、可靠的源和基底加热器可以在高氨分压环境下进行操作。Veeco 的耐氨来源和加热器目前可用于温度高达 1200°C、氨分压高达 1x10-4 托的环境。