使用可靠的 Veeco 单丝源，可获得满足您的大容量、高产值分子束外延 (MBE)过程需求的经济高效的解决方案。这些解决方案采用适用于 750-1200°C 操作的可靠带状热电偶和单加热器丝。可提供三个系统配置和多种坩埚尺寸。均由高蒸气压材料构成，可实现稳定、一致的流量。

• 专利设计，已有超过 1125 个投入现场应用
• 单丝“冷边”和“热边”设计
• 与几乎所有电源兼容
• 提供各类尺寸
• 卓越的性能和性价比

Veeco MBE 单丝源提供三种版本：

• 标准丝源。标准丝源是一个具有均匀分布的加热器单丝的通用源。所有设计均包括一个带大坩埚接触区的带状热电偶。尽管源加热均匀，但由于坩埚孔的辐射热损耗（特别是对于大容量源而言），源的边缘处稍冷。对于铝的蒸发，最好是按以下所述增强这种“冷边”效应。
• 改良型丝源。该源采用了专利“改良型”单丝设计。“热边”加热通过单丝实现，单丝可均匀地加热坩埚底部，但顶部包含额外的丝密度，以补偿孔处的辐射热损耗。该设计对于小容量坩埚尤为有效。
• 适用于铝的冷边源。熔融铝会润湿 PBN，通常会导致传统源中的炉料蠕变和溢出。导致铝溢出的因素包括源安装角度、加载的铝量和源升温速率。观察到标准源存在持续蠕变和溢出问题的用户可要求提供灯丝较短的特殊单丝源，这种单丝源可产生扩大的“冷边”。铝用冷边源可在坩埚边缘处冻结铝，以防止其溢出并损坏源。

对于高要求应用，或者需要大源容量时，推荐选择双丝或 SUMO 源。

性能和优势

单丝源可为通用应用提供良好的性能和高性价比。由于带式热电偶增加了热稳定性，标准丝源可提供更好的准确性和稳定性。改良型丝源的热边加热可减少镓和铟相关的椭圆缺陷。它还可以通过防止坩埚中发生冷凝，从而提高其他材料蒸发的稳定性和再现性。