为了在分子束外延 (MBE) 应用中实现在到达基质之前需要热裂解的气体的高性能 超高真空 (UHV) 交付，Veeco 气体裂解器提供了独特的功能（例如定制的出口锥管和末端衬板）以优化流量一致性。这些气体裂解器采用的是传统单丝源加热器，可用于钽或 PBN 裂解管的辐射加热。还提供了多个用于提高流程效率的设计选件。

• 适用于需要热裂解的气体的高性能 UHV 交付
• 钽或 PBN 气体导管
• 凭借定制的出口锥管和端板实现卓越的均匀度
• 已有超过 40 个投入现场应用

这些气体裂解器适用于必须在到达 MBE 基底之前通过热裂解得到活化的源气体。这些气体裂解器采用传统单丝源加热器，可用于钽或 PBN 裂解管的辐射加热。内部挡板可用于提高裂解效率。该源可提供多个气体入口以及最多三个独立导管。