Veeco RF 等离子源自动调节器与 Veeco UNI-Bulb RF 等离子源配合使用，可实现免提操作。自动调节器可自动调整和保持最佳等离子源状态，在实验期间无需手动调整。例如，若气体流量或功率水平等操作条件频繁变化，则自动调谐器是自动化工艺的绝佳解决方案。自动调谐器由三个部件组成：自动调谐控制器、自动调谐装置和自动调谐电源。自动调节控制器提供易于操作的控件、自动调节装置状态的视觉显示以及用户处理系统的控制界面。自动调节装置由两个可变电容器和一个固定电感器组成。自动调节装置内部的可变电容器由伺服电机驱动、通过自动调节控制器供电。自动调谐电源可为设备供电，在确保适当的功率要求的同时确保适当的功能。Veeco 自动调谐器配备所有 Veeco Uni-Bulb RF 等离子源标准，也可直接替换 Veeco 手动调谐器。添加自动调谐器之后，Veeco RF 等离子源可确保稳定的生长条件并优化电源效率。利用自动调节控制器的可编程参数，可对各种选择选项进行定制以满足应用需求。

在自动模式下，自动调节装置的内部传感器——称为相位和幅度检测器——会生成误差信号。自动调节控制器对误差信号作出反应并驱动伺服电机，自动将网络调整到合适的等离子体阻抗。

在手动模式下，可变电容器可以使用前面板上的最小/最大开关定位，控制伺服电机的转动方向，让操作人员手动调节自动调节装置以匹配等离子阻抗。

• 确保稳定的生长条件
• 优化功率效率
• 实现免提操作
• 兼容 Veeco 氧和氮 RF 等离子源