Veeco 多孔 CBr4 气体流量控制系统配合 Veeco 低温气体源使用时，可在利用 CBr4 气体作为碳掺杂源时控制 CBr4 气体向 UHV 环境的引入过程。该系统采用了闭环压力控制和一系列气动开关阀，可最大限度地发挥调节气体的能力。结合联锁可防止潜在设备损坏并确保最佳真空系统性能。Veeco CBr4 气体流量控制系统提供两种选择系统状态模式：本地和远程。MBE 自动系统上的远程状态需要 ECS1™ 版本的 Molly® 生长控制软件来控制系统生长。