Veeco 的向下开口 MBE SUMO® 源具有大容量、优异的通量均匀性、可忽略的快门瞬时通量和最小耗竭效果。它将双丝源与非对称 SUMO 坩埚（该坩埚具有窄偏置孔口和锥形出口，采用热边加热）相结合。结果：极佳的材料质量，缺陷发生率低，良好的厚度均匀度。注意：此源不适用于铝。

• 专利设计，已有超过 75 个投入现场应用
• 向下开口的端口可容纳熔融炉料
• 卓越的通量稳定性和均匀度
• PBN 坩埚构造可优化材料质量

Veeco 的向下开口 SUMO 源是一种带有不对称 SUMO 坩埚的双丝源，独特设计用于在向下开口的源端口中容纳熔融炉料。窄孔采用偏置设计以容纳溶胶，而锥形出口锥管则可提供卓越的通量均匀度。这种新颖的坩埚形状只能通过 Veeco 的专利 SUMO 技术提供。

出口锥管的热边加热可防止炉料再凝结和最大程度地减少 Group III 相关的椭圆缺陷。这种基础加热器丝的设计和位置旨在不均匀地分布坩埚中的炉料，从而实现最优的通量稳定性。此源不适用于铝。

性能和优势

向下开口的源端口使用户可以扩展 MBE 系统（带有向下开口的源端口）上的 Group III 源的总量。冗余源可增加最常用材料的总炉料容量，并可通过将单独的源用于每种所需通量，实现不同通量设置间的快速切换。向上开口的浅端口中的向下开口的 SUMO 源还可以提高熔融源材料的炉料容量。例如，GEN III 系统上的向上开口的浅端口中的 175 克向下开口的 SUMO 源可容纳 425 克的镓，而相同端口中的标准 400 克 SUMO 只可容纳 49 克。

出口锥管的设计可确保通量均匀度与通过系统的原始 Group III 源达到的目标相兼容。标准的 1% 均匀度已在 MOD GEN II 系统中的 2” 晶片上得到证实。