通过 Veeco 双丝源，可获得不同材料和状态下的最佳热图谱。此源的设计目的是在防止填充材料重新凝固并显著降低缺陷的同时，生产高质量的含镓和铟的材料。双丝源既可用于 SUMO 坩埚，也可用于传统坩埚（包括 III 族 生产坩埚）。

• 专利设计，已有超过 725 个投入现场应用
• 经证实的减少形态缺陷有效方法
• 生产流体动力更稳定的通量
• 快速响应的温度斜率

双丝源使用两个独立加热器沿着坩埚的长度方向来控制温度变动。源和坩埚的彻底脱气需要底部灯丝，以实现更高的生长速率。

双丝源用于仅含铝的“cold-lip（冷边）”模式。刻意使边缘区域的温度保持在低于坩埚其余区域的水平，以防止铝蠕变。铝通量的均匀度可以通过调整坩埚温度梯度进行优化。

MBE 双丝源可用于各种坩埚尺寸，包括大多数商用 MBE 系统的直接替代产品。对于可接受较小炉料容量且需要快速增加源温度的情况，建议选择带锥形坩埚的标准双丝源。

性能和优势

来自几十个部门的数据表明：双丝源可显著降低椭圆缺陷密度。当“冷边”单丝源被替换为“热边”双丝源时，缺陷密度降低 5-10 倍。

当用于镓和铟蒸发时，热边源会减少生长表面椭圆缺陷的形成，从而改进设备性能。关于这些源相关的形态缺陷，普遍接受的理论是它们是由源自溶胶的“飞溅现象”——当凝结的滴状物在坩埚孔形成，然后滚回热溶胶时产生的现象——造成。

提供的图片说明了热边加热如何防止冷凝，从而消除飞溅现象。溶胶中的氧化镓等杂质也可能导致椭圆缺陷。在这种情况下，消除凝结也将起到作用，因为滴状物可能会带来周围环境中的杂质。当用于铝时，双丝源可在孔处进行充分加热，以提供良好的通量均匀度，同时提供一个“冷边”，以防止可能破坏源热屏蔽和加热器丝的铝蠕变。“冷边”模式下运行的双丝源可提供增强的铝源可靠性和卓越的性能。

1. D.G. Schlom, et al, J.Vac. Sci. Technol. B 7, 296 (1989)。