GEN10 MBE 系统

自动晶片传输系统提高了设备使用率


GEN10™ MBE 系统是久经验证的平台上最经济、灵活的组合设备工具系统, 可提供最多三个可配置的用于特定材料的生长模块。这可以提高设备使用率,允许多名研究人员同时使用该系统和执行无人看管的生长和校准工作。再佐以 Veeco 组件技术,从而构成 MBE 业界的任何应用领域都选择使用 GEN10™ MBE 系统的关键原因。

  • 自动晶片传输系统提高了设备使用率,允许多名研究人员同时使用该系统和执行无人看管的生长和校准工作
  • 花费较低成本即可升级到其他生长模块(最多三个)
  • 可选配的材料生长模块可实现在一个真空系统中生长原本不兼容的材料
  • 可直接升级为更大规模生产的 MBE 系统

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