Veeco 高温源可在温度高达 2000°C 的情况下提高炉料的热蒸发。这个紧凑型 MBE 源可有效运行以实现高温，而且不会造成系统热负荷过大的情况。低功率要求也提高了加热器灯丝的寿命。

• 在 UHV 中用于温度高达 2000°C 的情况
• 可用于多晶片 4” 系统的源
• 抗氧化源结构
• 可由用户更换的热屏蔽和灯丝
• 已有超过 425 个源投入现场应用

热区构造使用耐火材料钨和钽，即使在最高的工作温度下也能确保 UHV 清洁操作。加热器钨丝以及孔口处的热屏蔽可在现场更换。绝缘陶瓷（如 PBN）仅限于源的较冷区域，以避免操作过程中的排气。

• 6cc 和 10cc 直壁。最适合用于小型 (2”) 基板和部分晶片
• 24cc 锥形。电荷容量和流量均匀度适合用于 3” 和较大基板的沉积
• 26cc SUMO。与所有 SUMO 坩埚一样，这种源可在 3” 和更大基板沉积中提供最大的可用容量、良好的流量均匀度、长期流量稳定性和有效的源操作
• 78cc 锥形。为多 4" 或单 8" 系统沉积提供最大容量

坩埚可采用难熔金属和陶瓷材料。具体选择视所需的蒸发材料而有所不同。反应性材料通常从配有陶瓷内衬的金属坩埚中蒸发。由于生产方面的限制，SUMO 设计并非适用于所有坩埚材料。