使用 Veeco 适用于分子束外延 (MBE) 系统的低温气体源，可获得在无热预裂解的情况下引入气体的低成本方法。该源具有可供快速气体交换的大型导管和可实现良好生长均匀度的扩散器端板。它是在 GaN 生长中供 CBr4 在 GaAs 和 NH3 中进行碳掺杂的理想气体注入器，以及任何其他不需要热预裂解的气体的理想注入器。通过在一个安装法兰上将源与原子氢源或 5cc 掺杂源组合，进一步增强了系统功能。

• 在无热预裂解的情况下引入气体
• 用于在 III-V 中进行碳掺杂的 CBr4 源
• 完整的 CBr4 气体处理系统提供了对掺杂剂蒸发和掺入的精确控制
• 已有超过 50 个投入现场应用