LSA 201 环境控制激光尖峰退火系统
Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 (LSA) 系统具有与 LSA101 相同的结构，但是包含专利的微腔设计，可以在扫描激光系统中实现全晶圆环境控制。微腔非常独特，不需要使用真空预备室。该系统能够运行任何惰性气体的混合物，包括合成气体。LSA201 针对的是高 k 金属栅极结激活和硅镍化合物形成等应用。LSA201 非常适合用于小于 20 纳米的工艺，如环境控制至关重要的接口工程和材料修改。
主要特性
- 长波长、布儒斯特角、p 偏振光以获得最佳晶粒内均匀性
- 闭环温度反馈控制，以保持严格的温度控制
- 独立于布局的设计非常适合加工功率器件和 FinFET 器件
- 局部应力场与灵活的停留时间可实现低应力加工和减少晶圆破损