借助 Veeco 推出的用于分子束外延 (MBE) 泄流室的一套完整的坩埚(包括专门用于 Veeco 的 SUMO® 室的坩埚)可增加主要源的电荷携带量。Veeco 坩埚设计适合于双丝室、改进型丝室、标准型丝室、低温室、掺杂剂室和 SUMO 室。
- 全系列 MBE 坩埚产品
- 独一无二的 SUMO 室坩埚可增加主要源的电荷携带量
- 非常适合于在双丝室、改进型丝室、标准型丝室、低温室、掺杂室和 SUMO 室中使用
- Veeco 坩埚几乎可满足任何 MBE 应用
各种坩埚材料选项:
- 氧化铝
- 氧化铍
- 石墨
- 铌
- 热解氮化硼
- 热解石墨
- 钽
- 钛
- 钨
- 氧化锆