由于白磷极易与氧气发生反应，Veeco 磷回收系统 (PRS) 提供了一种在为分子束外延 (MBE) 系统通风以进行维护和/或源重新装载之前捕获及中和生长模块中白磷的安全高效方法。该工艺通过 Veeco Molly® 生长控制软件控制并密切监控。Veeco 磷回收系统 (PRS) 可提供两种模型以适应小批量或大批量生产环境。
Veeco 磷阀式裂解器温度控制器适用于现有和新的磷阀式裂解器，可确保对因环境条件变化（例如空气温度或水冷温度）而造成的白色区域温度不稳定性进行精确、稳定的控制。
温度控制器的工作原理是将白色区域温度保持在 ±0.05°C 内，进而将磷流量稳定性保持在 <±1% 内。此外，相对于手动设置白色区域空气流量的情况而言，温度控制器还可让用户正确地设置白色区域的温度，从而大大简化阀式裂解器工艺设置。