Piezocon 气体浓度传感器
可重现蒸气输送控制的行业标准。
Piezocon® 气体浓度传感器已成为半导体制造行业的行业标准，可用于在 CVD 和 MOCVD 工艺流程中，高精度监控前体化学蒸气和掺杂气体，从而实现可重现的输送控制。
Piezocon 系统已被全世界 5,000 多家厂商安装使用。经生产验证该系统能为您提供：
- 通过严格控制制程气体和前体化学蒸气的输送，提高工艺的可重现性和良率
- 通过更高效地利用前体化学品、更充分地利用前体化学源、降低气体流向排气口的时间，从而降低工序成本
- 通过获取设备和工艺工程师可直接读取的定量信息，设备间的匹配更为简便
- 通过内置诊断工具，为气体和蒸气输送系统的故障排除提供帮助
相关资源：
数据表：Piezocon 气体浓度传感器
白皮书：使用 B-SiGe 外延沉积声控系统改进掺杂剂浓度控制