用于光学镀膜生产商的 Quest 宽带光学监控系统

层端点的精密控制可获得更佳可重复性和卓越工艺控制。

Veeco 的 Quest 宽带光学监控器可直接在生产基质上提供非四分之一波长控制。借助多种算法选择和可选择的波长范围，可获得对尖端光学设计的控制。

• 与前几代产品相比，层厚度控制效果可提高 10 倍
• 通过减少校准操作提高生产设备利用率
• 在非连续运行中的可重复性低于 0.1%
• 通过用户友好的界面实现轻松设置
• 全面集成到现有 SPECTOR 和 SPECTOR-HT IBD 系统