Veeco 的可伸缩源能满足分子束外延 (MBE)的基本限制，包括实现维护和系统正常运行时间的源容量、源去除。可伸缩源可通过源闸阀将单个源从生长环境中抽出和隔离，然后在不排空整个腔室的情况下将其移除。随后，使用相同的或新的材料轻松地重新填入源中，再将其重新安装至生长模块的标准位置，以便继续生长，同时也最大程度地缩短了中断时间。这个方案避免整个系统的排气和烘干流程，因此用户无需再重新验证新源至基底的距离和数周的停机时间。此外，差分抽气选项显著改善了源周围的基准压力，从而减少了源材料的污染，同时延长了源在腐蚀性和氧化环境中的寿命。Veeco 的可伸缩源是材料灵活性、系统效率方面的领先解决方案，提高了我们在专利 SUMO 源技术方面的领导地位。

• 提供几乎不间断的系统操作
• 减少重新填装和维护时间
• 提高可靠性和无波纹管设计
• 通过差分抽气保持源材料的纯度
• 仅在 Veeco MBE 系统上提供