用于光学镀膜的 SPECTOR 离子束沉积溅镀

精细光学薄膜的统包制造

使用 Veeco 的 SPECTOR® 离子束溅镀 (IBD) 光学涂层系统，可实现更高的精度和薄膜工艺灵活性。SPECTOR IBD 光学涂层系统具有多种夹具、靶标和先进光学监视系统选项，可满足制造各种光学薄膜所需要的良率和器件性能要求。

SPECTOR 双离子束溅镀系统

• 可交换的平台适用于行星式、简单旋转或翻转夹具的需要
• 为远程应用场合提供高良率的 200、100 和 50 GHz DWDM 过滤器
• 满足严格设备规范，例如窄带宽、宽衰减带、陡坡和低插入损失
• 生产 AR 涂层、复杂非四分之一波长涂层和超低损失激光器反射镜
• 通过在 ppm 级别的吸收和散射制造反射镜
• 高能加工提供更好的堆积密度和低针孔密度
• 低压下工作，提高了薄膜纯度
• 优异的薄膜厚度控制

SOURCERER® 系统管理器具有独特的图形界面，可显示实时及动画移动效果，与市面上的任何其他离子束系统控制套件相比，可提供更强的控制力和更大的灵活性。使用简单的命令或轻松导入的薄膜设计，工艺工程师可以开发高级自动化配方，启动进程运行，并在运行完成时返回。凭借 Veeco 的丰富加工经验和全球响应服务组织，我们设置了售前和售后标准。