用于光学镀膜的 SPECTOR 大范围离子束沉积系统

更高的生产量和卓越的材料均匀度

Veeco 的 SPECTOR® 大范围行星式离子束沉积 (IBD) 系统将无可比拟的离子束薄膜品质与接近于电子束系统的批次规模完美地结合在一起。除了较大的整体涂层区域，坚固的夹具还支持加工直径达 400 毫米、厚度达 100 毫米的基底。Veeco 提供 16 厘米 RF 高能沉积源和超低污染 RF 中和剂，以确保高沉积速率和高薄膜质量。为了获得最大化学计量控制和原位基底预清洁或刻蚀支持，该系统还配备了 12 厘米 RF 辅助离子源。

• 离子束质量和行业领先的产量实现了最低拥有成本
• 400 毫米球体上的卓越材料均匀度确保了最大良率
• 高电流 RF 离子源提供了高沉积速率
• 大型基底和组件箱支持提供了最大的产品灵活性