可使用基底加热器直接替换常用 MBE 系统的组件。Veeco 提供适用于特定应用领域、专为特定温度和生长环境条件而制造的基底加热器。在使用标准加热器时，可通过 PBN 扩散器板和高级灯丝设计实现优异的热均匀度。缠绕密集的钨丝具有均匀受热的表面。这种灯丝要优于箔丝，因为其更一致的横截面均匀度能够防止热点的形成。这种灯丝组件采用间隔紧密的平行线并以可让计数器顺利旋转的图案排列，确保粘接和非粘接区域都能均匀受热。高效功率消耗是基质加热器的品质证明。灯丝表面积实现最大化，而热屏蔽设计可将热能投射到基底。相对 OEM 加热器，功率/电流消耗量可以降低最多百分之 50。背景压力得到提高，而且 RHEED 图案在少量感应干扰时更清晰。通过精心挑选的结构材料和 UHV 兼容制造技术进行清洗操作。在用于标准 III-V 族的应用中，加热器的加热区只使用钽、钨和 PBN。高效运行还最大限度地减少了生长期间的排气。

高度灵敏的钨丝增强了可靠性和可重复性。它通过先进的隔离系统牢牢地固定，确保性能特性不会因形状或位置的改变而改变。PBN 扩散板可避免灯丝被源材料包覆或基质转移期间的意外损坏。

其他的一些基质加热器设计可选功能包括：

• 双灯丝设计，优化加热灵活性
• 用于高温和其他生长环境的灯丝材料
• 用于其他生长环境的扩散器材料