Veeco MBE 硫阀式裂解器可提前其他任何标准源都无可匹敌的便利性和控制性能。大容量耐火金属坩埚经加热产生硫束通量(包含 Sn,其中 n=8,7,6,5,3,2)。气流通过耐火金属针阀调节,进入独立的加热裂解区。裂解区的温度可调节以产生未裂解的硫通量或一束较小的硫形态。由于硫具有腐蚀特性,裂解区由石英而非耐火金属构成。
利用新增加的增强功能,Mark V 硫阀式裂解器加入了一个喷嘴,该喷嘴可提供卓越的通量均匀度和减少材料浪费。这种在材料利用方面的改进有助于:
Veeco SMC-II 自动阀门定位器适用于该源,以实现针阀的可靠、自动化控制。