硫阀式裂解器

受到世界领先的 II-VI 研究组的广泛使用


此源可在阻止腐蚀性气体的化学侵蚀的同时,为裂解或未裂解流量提供高效材料保留和近乎即时的调节。使用难熔金属针形阀,可在不耗竭源材料的情况下实现便利和流量控制。已报告了可生产蓝/绿 LED 和激光二极管设备的良好结果。

  • 生成裂解或未裂解硫流量
  • 提供流量调节和开/关控制
  • 大源容量
  • 使用喷嘴获得极佳的流量均匀度并减少材料浪费
  • 避免系统烘干过程中源材料的损失
  • 受到世界领先的 II-VI 研究组的广泛使用,已有超过 30 个投入现场应用

Veeco MBE 硫阀式裂解器可提前其他任何标准源都无可匹敌的便利性和控制性能。大容量耐火金属坩埚经加热产生硫束通量(包含 Sn,其中 n=8,7,6,5,3,2)。气流通过耐火金属针阀调节,进入独立的加热裂解区。裂解区的温度可调节以产生未裂解的硫通量或一束较小的硫形态。由于硫具有腐蚀特性,裂解区由石英而非耐火金属构成。

利用新增加的增强功能,Mark V 硫阀式裂解器加入了一个喷嘴,该喷嘴可提供卓越的通量均匀度和减少材料浪费。这种在材料利用方面的改进有助于:

  • 节省材料成本
  • 延长炉龄期
  • 缩短系统清洁时间
  • 减少有害废物生成
  • 降低记忆效应
  • 降低微粒水平和减少剥落
  • 减少系统窗口涂层

Veeco SMC-II 自动阀门定位器适用于该源,以实现针阀的可靠、自动化控制。

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