• 专利设计，已有超过 175 个投入现场应用
• 适用于低温蒸发的多功能高性能源
• SUMO 设计将卓越的通量稳定性和均匀性与大炉料容量相结合
• PBN 坩埚构造可优化材料质量
• 有机材料的理想源

此专利低温 SUMO® 源是用于高蒸气压材料无阀蒸发的最佳源。SUMO 源由为独特形状的坩埚定制的双丝加热器组成。源在热边模式下工作，以防止因坩埚边的材料再冷凝导致的通量遮蔽和源闭塞。低温 SUMO 源封装在一种热屏蔽包装内，可在 100–750°C 的工作温度下展现极佳的源响应能力和稳定性。

温度稳定性对于高蒸气压材料至关重要，因为即使是很小的温度变化也会对通量造成很大的影响。从基底操纵器辐射的热量有时会使在超低源操作条件下保持稳定的束通量变得很难。由于孔口较小，使用 SUMO 源代替圆锥形或圆柱形坩埚时，这种影响会显著减轻。

专利设计，已有超过 175 个投入现场应用 适用于低温蒸发的多功能高性能源 双丝热边加热以防止在坩埚孔处产生冷凝 SUMO 设计将卓越的通量稳定性和均匀性与大炉料容量相结合 PBN 坩埚构造可优化材料质量 有机材料的理想源

SUMO 坩埚

这种获得专利权的独特坩埚包括：

• 一个柱状池，提供大电荷容量和最小的长期耗竭效应
• 可实现最佳通量分布的小锥形孔
• 一个出口锥管，提供优异的流量均匀度并且可最大程度地减少材料浪费
• 可优化材料质量的 PBN 构造

提供可选插件，以限制坩埚孔口尺寸，从而提高坩埚的背压。这种技术可以改善超高蒸气压材料（包括那些作为掺杂物的材料）的性能。对于在 300°C 或以下的温度条件下工作的源，尤其推荐使用插件。

用于有机物的低温 SUMO

低温 SUMO 源特别适用于通常用于有机发光二极管 (OLED) 和电子应用的高蒸气压有机材料。由于有机物的低导热性，利用传统蒸发源难以实现稳定的束通量。低温 SUMO 源是有机物稳定、均匀沉积的最佳解决方案。对于需要准直束以最大化材料使用率和最小化漏气的应用，可选择“长角”SUMO 坩埚。

性能和优势

低温 SUMO 源采用精准的定制设计，旨在满足蒸发高蒸气压材料的要求。

优势包括：

• 在较低的操作温度下，具有最佳性能
• 大填充容量
• 双丝“热边”加热可阻止在坩埚孔口发生冷凝
• 具有长期的流量稳定性
• 最低快门瞬时
• 可优化材料质量的 PBN 坩埚构造