大基质的均匀性、可重复性和低温沉积使原子层沉积 (ALD) 成为新一代大型制造薄膜技术的理想选项。
如果您有生产原子层沉积 (ALD) 需求,那么我们的 Phoenix® 生产原子层沉积 (ALD)系统就是正确选择。Phoenix® 是一种能够一次容纳大量基质的批量原子层沉积 (ALD)工具。其独特的腔室设计可确保薄膜在各批次中保持精确
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Firebird™ HVM 原子层沉积 (ALD) 系统拥有长期的广告活动和增强的服务能力,满足并超越小批量生产前评估直至升级生产的拥有成本要求。Firebird™ 提供每月多达 40,000 晶片的吞吐量,结合了一流的生产力、卓越的膜性能和较低的运营成本,满足您对专业晶片生产最苛刻的大批量生产需求。
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