化学家已经合成了许多令人振奋的原子层沉积 (ALD) 新前体，并且创建了大量原子层沉积材料，例如具有改善金属性质的涂层、半导体、绝缘体、氧化物、氮化物、电介质、磁性物质和折射涂层。
| 氧化物 | 氮化物 | 硫化物 | 金属/碲化物 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| AI2O3 | Fe2O3 | Li3PO4 | NiFe2O4 | V2O5 | AlGaN | MnN | CdS | Co |
| Al:HfO2 | Fe3O4 | LiPON | NiO | WO3 | AlN | NbN | CoS | 铜 |
| Al:ZnO | FePO4 | LiFePO4 | NiO | Y2O3 | BxGa1-xN | NbTiN | Cu2S | Fe |
| AlGaN | Ga2O3 | Li2MnO4 | PO4 | YSZ | BxIn1-xN | SiN | Cu2ZnSnS4 | Mn |
| BOx | HfO2 | Li5TaOz | SiO2 | ZnAl2O4 | CoN | TaN | In2S3 | Ni |
| BiFeO3 | HfSiON | MgO | SnO2 | ZnO | Hf3N4 | TiN | MnS | Pd |
| CeO2 | In2O3 | MnO2 | SrO | ZnMgO | InAlN | WN | PbS | Pt |
| Co3O4 | ITO | MoO3 | SrTiO3 | ZnOS | InGaN | ZrN | Sb2S3 | Ru |
| CoFe2O4 | La2O3 | NaTiO | Ta2O5 | ZrO2 | InN | SnS | Bi2Te3 | |
| Er2O3 | Li2O | Nb2O5 | TiO2 | ZnS | Sb2Te3 | |||