原子层沉积 (ALD)系统
器件节点不断缩小，10nm 和 7nm 节点已经投产，而开发则已进行到 3nm。我们的原子层沉积工具即使在最细的节点上也能为您提供极致的精度和均匀的涂层。参考文献
经过现场验证的半自动批次 Phoenix® 系统可为中等规模批量生产提供不折不扣的性能。
阅读详情
Savannah® 是全球大学参与原子层沉积 (ALD) 并寻找经济实惠且稳健平台的研究人员的首选……
阅读详情
我们的 Fiji® 系列是一款模块化的高真空原子层沉积 (ALD) 系统，可适应各种沉积模式，其使用……
阅读详情
