离子束沉积

利用离子束沉积 (IBD) 系统打造具有最大一致性和可重复性的高精度、高纯度薄膜器件。

沉积系统

利用离子束沉积 (IBD) 系统打造具有最大一致性和可重复性的高精度、高纯度薄膜器件。

NEXUS IBD-LDD 离子束沉积系统

满足远紫外线 (EUV) 光罩基底的最高颗粒控制和反射率要求，Veeco 的 NEXUS IBD-LDD……
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NEXUS IBD 离子束沉积系统

通过 Veeco 的第三代 NEXUS® 离子束沉积 (IBD) 系统，可以极大提高 80Gb/in2 传感器的良率，并能满足未来薄膜磁头 (TFMH) 器件制造的要求……
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