激光加工系统

激光加工系统

Veeco 提供在最先进技术节点上具有革命性的低拥有成本、HVM 生产经过验证的热退火解决方案。通过领先激光尖峰退火技术创造实质性的变化

• 低热预算 - 通过无扩散超级激活改善了关键设备性能
• 消除失活 - 双光束技术维持设备改进，无掺杂剂失活
• 减少模式依赖性 – 在模具内和模具至模具均匀性改善
• 闭环温度控制 – 使用实时工艺控制和 FDC 实现可靠生产