自组装单分子膜 (SAMS)
Savannah® SAMS 试剂盒选项可通过蒸汽相中的自组装来沉积各种有机单层。由于 SAMS 在蒸汽相中沉积的自我限制性质，即使在更严格的 3D 纳米结构上，SAMS 膜也具有高度的保形性和均匀性。另外，完全组装的单层可在几分钟内实现，而在液相中需要 24-48 小时。结合原位诊断 (QCM、椭圆偏振术）以及原子层沉积 (ALD) 能力，这展现了一种优良的研发解决方案，可沉积各种有机/无机薄膜。
气相沉积 SAMS
自组装单层的气相沉积是一种用于快速将各种表面（包括金属、氧化物、聚合物和纺织品）功能化的多功能和低成本解决方案。通过低热预算工艺 (< 100°C)，表面属性可以在原子级进行定制，以实现最佳的性能，包括控制润湿性（疏水性、亲水性）、附着力和粘滞作用、电气、化学品和生化性质等等。SAMS 还可为锚固纳米颗粒、生物分子或用作种子层的理想载体，也已成功用于选择性区域沉积。
通过气相沉积，稳定的单层可以在 5-10 分钟内均匀沉积，包括在 MEMS 和 NEMS 中遇到的复杂的 3D 微型和纳米结构上。这种基于真空的干燥工艺可确保样品清洁度并与我们的原子层沉积 (ALD) 工艺的集成，使研究人员能够通过混合有机/无机合成调整表面属性。
可以沉积各种 SAMS 薄膜，包括硅烷、硫醇和膦酸。
SAMS 应用
- 用于选择性区域原子层沉积 (ALD) 的抑制层
- 有机薄膜晶体管
- 适用于柔性电子产品的渗透涂层
- 纳米结构功能化
- MEMS 防粘连
- 生物感应/细胞粘附/蛋白吸附
- 适用于润湿性/渗透性控制的大表面积涂层
SAMS 选项能够快速将各种表面功能化，以控制润湿性。以下是通过 FDTS 涂层功能化硅表面的示例，暴露 10 分钟后形成 115˚ 水接触角
带原子层沉积 (ALD) 种子层的 FDTS 上的 119°水接触角
SAMS 套件选项可以准确控制 SAMS 剂量，以实现最佳性能和可重复性
使用气相沉积的 SAMS 提供了一种快速、多用途的方法，以选择性地沉积原子层沉积 (ALD) 膜。在以下示例中，我们有选择地在铜和 SiO2 上沉积 C18 SAMS，以随后抑制氮化铪在铜上而不在 SiO2 上的原子层沉积 (ALD) 生长。这项工作是 IMEC 与 Silvia Armini 研究团队合作的一部分。
SAMS 套件规格
| 系统 | Savannah® S100，200 & 300 |
| 最大工具包/工具 | 高达 2 |
| 基质尺寸 | S300 高达 300 mm |
| 典型运行时间 | 5-20 分钟 |
| 剂量控制 | ±0.5µmol |
| 前体温度 | 高达 200˚C |
| 累加器温度 | 100˚C，带压力计 高达 150˚C（不带压力计） |
| 剂量压力范围 | 0-10 托，带 Baratron |
| 共同反应物 | H2O、臭氧、空气 |
| 种子层 | 原子层沉积 (ALD) 氧化物和金属 |
| 泵 | 带吹扫试剂盒的 Adixen 2021C2 |
| 软件集成， 端点控制 |
标准实施 Savannah® 软件 |
| FDTS 接触角 | >110˚ |
| FOTS 角度 | >105˚ |
| DTS 角度 | >100˚ |
