专用源

Veeco 提供最全面的 MBE 源选择，其中包括单灯丝和双灯丝设计。

低温气体源

借助 Veeco 的低温气体源，可低成本地为分子束外延 (MBE) 系统引入 CBr4 和 NH3 等源气体……
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适用于氧、氮和氢的 UNI-Bulb RF 等离子源

……可提供电子和光电材料的 GaN 生长最佳条件以及优异的等离子稳定性和可重现性。
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气体裂解器

Veeco 气体裂解器适用于气体的高性能超高真空 (UHV) 交付，提供独特的功能以优化流量均匀性。
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可伸缩源

Veeco 可伸缩源能满足分子束外延 (MBE) 的基本限制，包括实现维护和系统正常运行时间的源容量、源去除。
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Atom-H 源

原子氢源是设计用于 1800-2200°C 下作业的全耐火金属材料源，与大多数制备室和……
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抗氨化源

Veeco 抗氧化长寿命源可实现中温和分压下的精确 MBE 操作。
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