湿法处理系统
使用可持续实践进行表面预处理对于确保用于汽车应用、医疗设备、5G 和云存储的高级微电子产品的可靠性至关重要。
湿法加工应用套件： WaferStorm 平台
- 金属剥脱
- 光刻胶/干膜剥离
- 焊剂清洗
- 洗涤器
- TSV 清洁
WaferEtch 平台
利用湿法工艺技术创造实质性的变化：
- 均匀度高，缺陷率低
- 设计灵活，可满足各种工艺要求
- 专有的 immJET 技术结合了批量浸泡和单晶片喷雾处理工艺
WaferStorm 平台是先进封装、MEM 等中许多关键溶剂型工艺的行业选择。
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WaferEtch 平台是先进封装、MEM 等中许多关键水性工艺的行业选择。
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